关于微光显微镜
微光显微镜是捕获半导体器件缺陷或失效点发射微量光子的一种无损检测设备。在电激励作用下，电子-空穴对或高能热载子会以光子的形式释放出多余动能。根据此原理，人们利用高增益低噪声的相机就够能精确定位到缺陷位置。EMMI系统主要适用于PN结漏电、氧化层崩溃、静电放电破坏、闩锁效应、碰撞电离和雪崩击穿等多种物理场景。
产品应用方向
> GaN与Sic基功率器件的漏电“热点”定位
> GaN基LEDs与结型探浏器的漏电“热点”定位
> Si基MOSFET与IGBT等功率器件的漏电失效“热点”定位
> GaAs基激光器光分布与漏电“热点”定位
> 常规的器件的静态电学参数测试
EMMI工作原理
产品特征参数
> 8寸高压手动气浮探针台
> 紫外、可见光、红外显微光学系统
> 2倍、5倍、10倍、20倍与50倍红外物镜
> 400-1000 nm 或900-1700 mm响应波长
> 支持3000 V高压偏置
> 相机与源表的一体化控制程序
> 软件图像处理功能
EMMI软件界面
案例分析
销售情况
目前，该系统已经为国内几十家半导体企业和高校提供了相关测试服务，已在多家研究单位推广应用，主要包括重庆邮电大学，大连理工大学，江南大学，南京大学，江苏省产业研究院，中国电科、普瑞（无锡）研发中心以及清华应用技术研究院等。
