关于微光显微镜
微光显微镜是捕获半导体器件缺陷或失效点发 射微量光子的一种无损检测设备。在电激励作用 下，电子-空穴对或高能热载子以光子的形式释放 出多余动能。根据此原理，利用高增益低噪声的相机就能精确定位到缺陷位置。 微光显微系统主要适用于PN结漏电、氧化层崩 溃、静电放电破坏、闩锁效应、碰撞电离和雪崩 击穿等多种物理场景。
产品特征参数
> 8寸高压手动气浮探针台
> 紫外、可见光、红外显微光学系统
> 2X、5X、10X、20X与50X近红外物镜
> 400-1000nm或900-1700nm波长
> 支持3000V高压偏置
> 相机与源表的一体化控制程序
> 图像处理功能
应用方向
> GaN与SiC 基功率器件漏电 “热点”定位
> GaN 基LEDs与结型探测器漏电“热点”定位
> Si基MOSFET与IGBT等功率器件的漏电“热点”定位
> GaAs基激光器光分布与漏电“热点”定位
> IC 集成电路
设备推广
目前，该系统已经为国内几十家半导体企业和高校提供了相关测试服务，已在多家研究单位推广应用。主要包括重庆邮电大学，大连理工大学，江南大学，南京大学，江苏省产业研究院，中 国电科、普瑞(无锡)研发中心及无锡清华应用技术研究院 等。
