制冷型中波红外锁相显微镜 Thermos-3000

        Thermos-3000是一款基于制冷型中波红外机芯并采用实时动态锁相技术的热点定位成像系统，主要应用于晶圆、电路板，电阻与电容等不同样品的“热点”定位，也可测量微观温度分布。

         > 全自动电机运动系统
          > 变温探针台
          > 高精密脉冲数字源表
          > 1X，5X，10X微距镜头
          > 1 μW 最小加热功率
          > 1 mK测温精度
          > 2 μm空间分辨率

基本特征

        锁相可以减小锁相频率之外的背景噪声，提高“热点”的信噪比，更容易定出微弱信号位置。

中波红外机芯

中波红外物镜

测试软件

“热点”位置测量

微观温度分布

        逐像素矫正获得每个像素所对应的热发射率，来测量真实的温度分布。