锁相热成像系统Thermos-2000

热锁相红外热成像系统Thermos-2000，是一套无需光屏蔽箱，可在自然环境中进行的，用于定位半导体器件中缺陷的系统。与稳态热成像相比，它具有动态红外热成像的形式，可以提供更好的信噪比、更高的灵敏度和更高的特征分辨率。

热锁相测量原理

热锁相模式可以减小锁相频率之外的背景噪声，提高“热点”的信噪比，更容易定出微弱信号位置。

主要功能

1、利用锁相技术实现热点的精准定位，空间分辨率4um(3X微距镜);

2、可见光相机成像方便扎针，与热图重叠空间分辨率提升至1um。

      > 适用于红外光学系统硅类的内部观察、红外光谱特征分析等。察另需红外光源和红外摄像机等。
      > 反射照明光学系统标配带孔径光阑远心照明，最适合需要均匀照明的图像处理。可用于尺寸测量、形状检查、定位等。
      > 适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工崇章不保证激光最荡器配备系统的综合性能和安全性。
      > 半导体电路的切割、修整、修正、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、波晶彩色滤光片等的修复(修正缺陷)等。

3、采用逐像素矫正，实现芯片真实温度分布测量;

4、I-V曲线扫描功能，也支持单点电压、电流与功率测量;