新一代光电探测表征系统

产品简介

新一代光电探测表征系统 OPTOMOS-1000 是由无锡芯鉴半导体技术有限公司推出的新一代光电探测参数表征系统。与传统设备相比，它具有更先进的测量方案，更高的硬件集成度，和更友好的软件界面，可在保证数据准确的前提下，极大地提高测试效率，降低使用者的时间成本。 OPTOMOS-1000 具有丰富的测量功能，主要包括:电流-电压特性曲线、光电流谱，光功率谱，响应度谱、量子效率谱、探测率谱，光响应时间(3DB 带宽),(超)低频噪声谱，晶体管转移与输出特性等。同时，该系统还具有极大的功能扩展性，可以升级变温卡盘、电容-电压扫描与微区光电流 mapping 等功能。

主要优势

1、媲美 Keithley-4200 SCS 的电流精度

媲美 Keithley-4200 SCS 的电流精度OPTOMOS-1000 具有媲美 Keithley-4200 SCS 的电流精度，轻松测量 fA 级别电流的同时，通过单点多次平均极大减小了极小电流的抖动问题。

2、深紫外-近红外的波长范围

配备 Si 和 InGaAs 两种标准光电探测器标定光源的光功率，响应波段覆盖整个深紫外和红外区 (200-2500 nm)。同时，还支持实时光功率标定与测量一键切换，保证测量结果的准确性，光响应波长最大分辨率为 1 nm。

3、极弱光信号的量测

采用锁相方法能够显著提高信噪比，但无法消除系统本身的电流噪声干扰，导致无法准确量测nW 级光信号的响应电流，极大降低实际的光响应度和量子效率。OPTMOMOS-1000 通过减小系统噪声将电流精度提高至 fA 级，可精准捕捉极弱光的响应信号，最小 EQE 水平低至 10^-7 %。

4、快速光开关与虚拟示波器

OPTOMOS-1000 配置快速电流开关模块，光开关上升时间小于 50ns，这极大减少了光开关延迟对器件光响应时间测试的影响。同时还具备虚拟示波器功能，可直接观察电流波形的动态变化，并自动输出 3DB 带宽，极大减少了硬件的冗余与使用者的数据处理时间。

5、(超)低频噪声功率谱密度

OPTOMOS-1000 系统配备超低噪声电流放大器与高速电流放大器，同时具备宽带低频噪声与超低频噪声的测试功能。通过加强电磁屏蔽，OPTOMOS-1000 的底噪已低至 2×10^-29A²/Hz@1Hz 或 1×10^-31 A²/Hz@1Hz，可满足极低漏电流氮化镓与氧化镓等器件的测试需求。

6、三端晶体管电学特性表征

OPTOMOS-1000 支持三端器件的电学特性测试，主要包括转移与输出特性曲线，电流应力曲线与脉冲 I-V 特性曲线等，同时还支持三端器件的低频噪声特性测试。

7、其它选配

1) 高温卡盘，温度范围:室温-200°C;

2) C-V 扫描系统，含变频电容与电导扫描，电压范围 40 V，频率最高 2M Hz;

3)1 微米分辨率的光电流 mapping，支持直流与锁相模式与原位叠加等功能;